该产品是真空管路系统中实现介质通断控制的专用设备,采用优质304/316不锈钢为主体材料,通过手动操作驱动阀板完成启闭动作。其角式结构设计可有效适配L型管道布局需求,相较于直通式阀门更节省安装空间。
核心特性说明
材料可靠性
阀体与密封件选用符合GB/T 1220标准的不锈钢材料,经固溶处理后可耐受-30℃~150℃工况环境。密封面堆焊司太立合金(Stellite 6),实验室测试数据显示其启闭寿命可达10,000次以上(依据JB/T 6446-2018标准)。真空适应性
采用金属硬密封与氟橡胶复合密封结构,在1×10⁻⁴Pa~0.1MPa压力范围内均能保持有效密封。经氦质谱检漏仪检测,漏率≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s(参照ISO 15848-2标准)。操作优化设计
• 阀杆采用梯形螺纹传动,配备自锁式手轮机构
• 90°角行程启闭设计,扭矩控制在25N·m以内
• 可视位置指示器可直观判断阀板状态
典型应用场景
适用于半导体镀膜设备、真空冶金炉、航天环模舱等需要高洁净度真空环境的工业领域。在某光伏PECVD设备制造商的实际应用中。
注意事项
• 安装时需保证法兰面平行度误差≤0.1mm
• 定期补充FDA认证的真空润滑脂
• 极端工况建议选用带冷却水套的增强型号