GUQ-ISO系列气动真空球阀专为高洁净度真空系统设计，采用ISO标准接口，适用于半导体、光伏、生物医药等对介质纯度要求严苛的工业场景。阀体采用316L不锈钢整体锻造，经电解抛光处理，表面粗糙度可达Ra≤0.4μm，有效降低颗粒物残留风险。
核心技术创新
密封结构
双向金属硬密封与PTFE软密封复合设计，在-0.1MPa至1.0MPa真空工况下保持10^-9 Pa·m³/s的泄漏率，通过氦质谱检漏验证。驱动优化
集成低摩擦气缸与精密导向机构，响应时间≤0.5秒，配合电磁阀可实现远程程控，支持Modbus协议通讯。耐腐蚀性能
阀座与球体接触面镶嵌碳化钨涂层，耐受氯离子浓度≤50ppm的腐蚀性介质，寿命达50万次启闭循环。
系统兼容性
符合SEMI F57标准，法兰尺寸涵盖ISO-KF至ISO-CF系列，适配DN25-DN150管道系统。可选配ATEX防爆认证驱动模块，满足Class I Div2危险环境要求。
维护优势
模块化快装设计支持在线更换密封组件，维护周期较传统阀门延长60%以上，配套智能诊断模块可实时监测阀位状态与扭矩变化。
