Las válvulas de bola de vacío neumáticas de la serie GUQ-ISO están especialmente diseñadas para sistemas de vacío de alta limpieza. Adoptan interfaces estándar ISO y son adecuados para escenarios industriales con requisitos estrictos de pureza de medios, como semiconductores, energía fotovoltaica y biomedicina. El cuerpo de la válvula está íntegramente forjado en acero inoxidable 316L y pulido electrolíticamente. La rugosidad de la superficie puede alcanzar Ra≤0,4μm, lo que reduce eficazmente el riesgo de partículas residuales.
Innovación tecnológica central
Estructura de sellado
El diseño compuesto de bidireccional El sello duro de metal y el sello blando de PTFE mantienen una tasa de fuga de 10^-9 Pa·m³/s en condiciones de vacío de -0,1 MPa a 1,0 MPa, y se ha verificado mediante detección de fugas por espectrometría de masas de helio.Optimización de la unidad
Cilindro integrado de baja fricción y mecanismo de guía de precisión, tiempo de respuesta ≤0,5 segundos, con válvula solenoide para lograr el control remoto del programa, admite comunicación con protocolo Modbus.Resistencia a la corrosión
La superficie de contacto entre el asiento de la válvula y la bola está incrustada con un recubrimiento de carburo de tungsteno, que puede soportar medios corrosivos con una concentración de iones de cloruro ≤50 ppm y tiene una vida útil de 500.000 ciclos de apertura y cierre.
Compatibilidad del sistema
Cumple con el estándar SEMI F57, cubiertas de tamaño de brida Serie ISO-KF a ISO-CF, adecuada para sistemas de tuberías DN25-DN150. El módulo variador opcional certificado a prueba de explosiones ATEX cumple con los requisitos de entornos peligrosos Clase I Div2.
Ventajas de mantenimiento
El diseño modular de instalación rápida admite el reemplazo en línea de los componentes de sellado y el ciclo de mantenimiento es más del 60% más largo que el de las válvulas tradicionales. El módulo de diagnóstico inteligente adjunto puede monitorear el estado de la posición de la válvula y los cambios de torque en tiempo real.
