La válvula de compuerta neumática de vacío ISO es un dispositivo de control automatizado especialmente diseñado para sistemas de vacío. Utiliza accionamiento neumático para lograr una rápida apertura, cierre y aislamiento del flujo de aire. Esta válvula cumple con las especificaciones de interfaz estándar internacional ISO y es adecuada para escenarios industriales que requieren un alto control de limpieza, como la fabricación de semiconductores y el recubrimiento al vacío. Su función principal es impulsar el movimiento vertical de la placa de la válvula a través de aire comprimido, lograr un sellado confiable dentro del rango de 1×10⁻⁵Pa a presión normal y mantener efectivamente el vacío del sistema.
En términos de diseño estructural, la válvula de compuerta neumática de vacío ISO se compone principalmente de un cuerpo de válvula, una placa de válvula, un actuador neumático y un conjunto de sellado. El cuerpo de la válvula está fabricado en acero inoxidable 304/316L. Después del procesamiento de precisión, la rugosidad de la superficie es ≤0,8μm para garantizar un ajuste perfecto con la superficie de sellado. La placa de la válvula tiene una estructura metálica circular, con un anillo de sellado de caucho fluorado o caucho de nitrilo incrustado en el borde. Puede realizar un movimiento vertical bajo el accionamiento del cilindro y la tasa de fuga es ≤1×10⁻⁷Pa·L/s. El actuador neumático cambia la dirección del recorrido del aire a través de la válvula de inversión electromagnética y acciona el vástago del pistón para impulsar el movimiento del plato de la válvula. El tiempo de apertura y cierre suele ser ≤3 segundos y la respuesta es rápida.
Las ventajas de rendimiento se reflejan principalmente en tres aspectos: primero, alto sellado, utilizando un sello de eje de fuelle y un diseño de estructura de sellado multicapa para prevenir eficazmente las fugas de vacío; en segundo lugar, adaptabilidad a un amplio rango de temperaturas, el sello puede soportar temperaturas de funcionamiento de -30 °C a 150 °C, satisfaciendo las necesidades de entornos criogénicos o de horneado a alta temperatura; en tercer lugar, la facilidad de operación, admite control neumático remoto, es compatible con señales de 4-20 mA o protocolos Modbus y es fácil de integrar en sistemas de automatización. Además, el diseño modular permite reemplazar los anillos de sellado individualmente, lo que resulta en menores costos de mantenimiento.
Los escenarios de aplicación típicos incluyen: aislamiento de cavidades de equipos de recubrimiento al vacío, control de gas en el proceso de fabricación de semiconductores, conmutación media de sistemas de vacío de investigación científica, etc. Su diseño de interfaz de brida cumple con los estándares ISO y se puede adaptar a sistemas de tuberías DN16-DN630. La dirección de instalación es flexible y puede satisfacer diferentes necesidades de distribución del espacio.
