GU-CF型真空手动法兰球阀专为超高真空系统设计,采用Conflat(CF)法兰连接,适用于半导体制造、科研实验等对真空度要求严苛(10⁻¹²mbar级)的领域。其手动操作模式兼顾精准控制与成本效益,是真空管路中气流启闭的核心组件。
核心结构特性
CF法兰系统
金属静密封结构,采用无氧铜或Viton密封材料,耐受高温烘烤(最高可达150℃)
公称直径覆盖DN16-DN250,适配不同管径需求
对称式法兰设计配合定心支架,确保重复拆装后仍保持密封性能
阀体设计
阀体采用304/316不锈钢整体锻造,耐腐蚀且机械强度高
浮动式球体结构,PTFE阀座提供双向密封,泄漏率<1×10⁻¹⁰Pa·m³/s
全通导流道设计,减少气流扰动,避免颗粒物沉积
三、性能优势
真空兼容性:同时支持高真空(10⁻⁶Pa)与低压正压(6×10⁵Pa)工况
操作便捷性:手动杠杆驱动,启闭扭矩≤15N·m,支持快速切断
维护友好性:模块化阀座设计,支持免拆解更换密封件
四、典型应用场景
半导体设备腔体隔离阀
加速器真空传输管路
光学镀膜系统气路控制
五、技术参数摘要
项目 | 参数 |
|---|---|
适用真空度 | 1.3×10⁻⁷~6×10⁵Pa |
密封材料 | 无氧铜/PTFE/Viton |
工作温度 | -10℃~150℃ |
法兰标准 | CF(Conflat) |

选型参数(常用可选范围)
| 产品名称 | GU-CF真空手动法兰球阀 |
| 公称通径 | CF 法兰常用 DN16–DN250 |
| 压力等级 | 真空管路(不以水压 PN 为主称) |
| 阀体/主要材质 | 阀体常用 WCB、球墨铸铁或 304/316,按介质确认 |
| 连接方式 | 法兰 |
| 驱动方式 | 手动;需要时配蜗轮、气动或电动(上法兰 ISO 5211) |
| 适用温度 | 常温真空管路常用 -20℃~150℃;烘烤型按密封圈确认 |
| 制造标准 | GB/T 12237、真空法兰:ISO 2861(KF)、ISO 1609(ISO)、ISO 3669(CF)按接口 |
| 真空性能 | 工作真空度、漏率按密封副与检测要求填写,订货时请给出真空度 |
上表是常用可选组合,不是单一出厂配置。请按介质、温度、压力、通径、连接标准和驱动方式在订单或技术协议中确认。