该阀门专为真空系统设计,采用气动驱动方式,通过压缩空气控制挡板的启闭,适用于需要快速响应或远程操作的工业场景。其核心功能是在高真空环境下(工作压力范围1×10⁻⁵Pa至常压)实现气流的精确隔离与切换,广泛应用于半导体制造、真空镀膜、医药包装等领域。
结构设计
阀体与挡板:采用304/316L不锈钢材质,经精密加工后表面粗糙度≤0.8μm,确保密封面配合精度;挡板边缘镶嵌氟橡胶或金属O型圈,泄漏率≤1×10⁻⁵Pa·m³/s。
气动执行机构:由气缸、活塞及电磁阀组成,支持双作用或单作用模式,响应时间≤2秒;可选配行程限位开关,实现位置反馈。
密封系统:采用波纹管轴封与O型圈双重密封,避免传统填料函的泄漏风险,耐温范围-30℃至150℃。
性能特点
快速启闭:气动驱动下DN100阀门启闭时间≤3秒,紧急切断效率高。
低维护设计:模块化密封圈支持在线更换,无需拆卸阀体。
兼容性:法兰接口符合ISO-KF标准,适配DN16-DN50管道;支持4-20mA信号或Modbus协议接入自动化系统。
典型应用
真空镀膜设备的腔体隔离与气体切换
半导体晶圆制造过程中的工艺气体控制
实验室真空系统的远程操作与安全切断
(注:具体参数需以实际产品技术文档为准。)

选型参数(常用可选范围)
| 产品名称 | KF真空气动挡板阀 |
| 公称通径 | KF16、KF25、KF40、KF50(对应约 DN15–DN50) |
| 压力等级 | 真空管路(不以水压 PN 为主称) |
| 阀体/主要材质 | 阀体常用 WCB、球墨铸铁或 304/316,按介质确认 |
| 连接方式 | KF 真空快卸法兰(KF16/25/40/50 等) |
| 驱动方式 | 气动(开关型 / 调节型,可配定位器) |
| 适用温度 | 常温真空管路常用 -20℃~150℃;烘烤型按密封圈确认 |
| 制造标准 | 真空法兰:ISO 2861(KF)、ISO 1609(ISO)、ISO 3669(CF)按接口、上法兰 ISO 5211 |
| 真空性能 | 工作真空度、漏率按密封副与检测要求填写,订货时请给出真空度 |
上表是常用可选组合,不是单一出厂配置。请按介质、温度、压力、通径、连接标准和驱动方式在订单或技术协议中确认。