GU-CF型真空手动法兰球阀专为超高真空系统设计，采用Conflat（CF）法兰连接，适用于半导体制造、科研实验等对真空度要求严苛（10⁻¹²mbar级）的领域。其手动操作模式兼顾精准控制与成本效益，是真空管路中气流启闭的核心组件。
核心结构特性
CF法兰系统
金属静密封结构，采用无氧铜或Viton密封材料，耐受高温烘烤（最高可达150℃）
公称直径覆盖DN16-DN250，适配不同管径需求
对称式法兰设计配合定心支架，确保重复拆装后仍保持密封性能
阀体设计
阀体采用304/316不锈钢整体锻造，耐腐蚀且机械强度高
浮动式球体结构，PTFE阀座提供双向密封，泄漏率<1×10⁻¹⁰Pa·m³/s
全通导流道设计，减少气流扰动，避免颗粒物沉积
三、性能优势
真空兼容性：同时支持高真空（10⁻⁶Pa）与低压正压（6×10⁵Pa）工况
操作便捷性：手动杠杆驱动，启闭扭矩≤15N·m，支持快速切断
维护友好性：模块化阀座设计，支持免拆解更换密封件
四、典型应用场景
半导体设备腔体隔离阀
加速器真空传输管路
光学镀膜系统气路控制
五、技术参数摘要
项目 | 参数 |
|---|---|
适用真空度 | 1.3×10⁻⁷~6×10⁵Pa |
密封材料 | 无氧铜/PTFE/Viton |
工作温度 | -10℃~150℃ |
法兰标准 | CF（Conflat） |
