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GU-ISO真空手动球阀

GU-ISO真空手动球阀

产品参数

GU-ISO真空手动球阀专为高真空系统设计,采用ISO标准法兰接口,适用于半导体制造、真空镀膜、科研实验等需要精密气体控制的场景。其核心功能在于通过手动操作实现气路的快速切断或导通,维持系统真空度稳定。

结构特性

  1. 阀体材质:主体选用316L不锈钢,经电解抛光处理,内表面粗糙度≤0.8μm,有效降低气体吸附率

  2. 密封系统:双道氟橡胶O型圈密封结构,配合金属硬密封设计,在10^-6 Pa真空环境下仍能保持良好密封性

  3. 操作机构:符合人体工学设计的旋转手柄,启闭角度90°±5°,配备位置指示窗,便于状态确认

性能参数

  • 适用压力范围:1×10^-9 Pa~0.1 MPa

  • 漏率:≤1×10^-10 Pa·m³/s(氦质谱检漏)

  • 工作温度:-20℃~150℃

  • 接口规格:ISO-KF/KF40/KF25可选

应用优势

  • 模块化设计支持多阀组并联安装

  • 阀杆防喷出结构确保操作安全

  • 可进行原位加热除气处理(选配)

维护指南

建议每500次操作后检查密封圈状态,使用无尘布清洁阀座接触面,避免使用含硅润滑剂。 

不锈钢ISO手动真空球阀