GU-ISO真空手动球阀专为高真空系统设计,采用ISO标准法兰接口,适用于半导体制造、真空镀膜、科研实验等需要精密气体控制的场景。其核心功能在于通过手动操作实现气路的快速切断或导通,维持系统真空度稳定。
结构特性
阀体材质:主体选用316L不锈钢,经电解抛光处理,内表面粗糙度≤0.8μm,有效降低气体吸附率
密封系统:双道氟橡胶O型圈密封结构,配合金属硬密封设计,在10^-6 Pa真空环境下仍能保持良好密封性
操作机构:符合人体工学设计的旋转手柄,启闭角度90°±5°,配备位置指示窗,便于状态确认
性能参数
适用压力范围:1×10^-9 Pa~0.1 MPa
漏率:≤1×10^-10 Pa·m³/s(氦质谱检漏)
工作温度:-20℃~150℃
接口规格:ISO-KF/KF40/KF25可选
应用优势
模块化设计支持多阀组并联安装
阀杆防喷出结构确保操作安全
可进行原位加热除气处理(选配)
维护指南
建议每500次操作后检查密封圈状态,使用无尘布清洁阀座接触面,避免使用含硅润滑剂。