该阀门专为真空系统设计，采用快卸法兰（KF）连接结构，适用于10-6Pa至1×105Pa的真空环境。阀体采用不锈钢材质，配备四氟乙烯或PPL密封件，可在-30℃～+240℃温度范围内稳定工作，满足半导体、化工、航天等领域对介质洁净度的严苛要求。
核心结构与工作原理
三通流道设计
阀芯采用T型或L型结构：T型可实现三条管道的完全连通或任意两条管道的切换分流
L型仅支持两条正交管道的流向切换
球面密封结构通过阀杆90°旋转实现启闭，泄漏率≤1.3×10-4Pa·L/s。
快卸法兰优势
KF法兰通过O型圈与卡箍快速连接，无需工具即可拆装，最高耐受10-18mbar真空度。相比活套法兰，具有结构紧凑、重量轻的特点，特别适合需要频繁维护的实验室或生产线。
性能特点
双向密封：正负压环境下均能保持密封性，防止气体倒灌
低扭矩操作：优化阀杆结构减少启闭阻力，支持手动或气动执行
多材质适配：阀体可选304/316不锈钢，密封件兼容EPDM、氟橡胶等
典型应用场景
真空镀膜设备的工艺气体切换
半导体晶圆加工中的抽真空与吹扫系统
高能物理实验装置的真空管路控制
医药冻干机的冷冻干燥流程调控
安装与维护要点
支持任意角度安装，但需避免密封件长期受压变形
定期检查O型圈磨损情况，建议每12个月更换密封组件
操作时需确认阀杆指示标志与管路流向匹配，避免误操作
