该阀体采用304/316不锈钢阀体与PTFE密封组件构成双级密封系统,通过法兰连接实现与真空管道的快速对接。气动执行机构驱动阀杆带动球体旋转90°,使介质通道与阀座形成通断控制,其真空密封性能可达1.3×10⁻⁴Pa·L/S,适用于1.3×10⁻⁷~6×10⁵Pa的真空压力范围。
二、关键技术特性
自适应密封设计
浮动式球体结构配合弹性阀座,在真空与低压工况下自动补偿密封面磨损,确保长期使用后仍保持稳定漏率。低扭矩驱动
优化的球体流道设计使流体阻力接近直管段,配合轻量化执行机构,启闭扭矩较传统球阀降低40%。
三、行业应用适配
在半导体晶圆制造中,其全通导结构满足超高真空腔体快速抽气需求;生物工程领域则利用其无菌设计实现培养基管路的零污染切换。阀体提供GB/DIN/ANSI多标准法兰接口,适配不同真空系统集成要求。
四、维护与检测
建议每季度检查法兰螺栓预紧力与密封圈状态,年度大检修时需对阀杆密封填料进行更换,维护周期较普通球阀延长30%。