该阀门专为真空系统设计，采用气动驱动方式，通过压缩空气控制挡板的启闭，适用于需要快速响应或远程操作的工业场景。其核心功能是在高真空环境下（工作压力范围1×10⁻⁵Pa至常压）实现气流的精确隔离与切换，广泛应用于半导体制造、真空镀膜、医药包装等领域。
结构设计
阀体与挡板：采用304/316L不锈钢材质，经精密加工后表面粗糙度≤0.8μm，确保密封面配合精度；挡板边缘镶嵌氟橡胶或金属O型圈，泄漏率≤1×10⁻⁵Pa·m³/s。
气动执行机构：由气缸、活塞及电磁阀组成，支持双作用或单作用模式，响应时间≤2秒；可选配行程限位开关，实现位置反馈。
密封系统：采用波纹管轴封与O型圈双重密封，避免传统填料函的泄漏风险，耐温范围-30℃至150℃。
性能特点
快速启闭：气动驱动下DN100阀门启闭时间≤3秒，紧急切断效率高。
低维护设计：模块化密封圈支持在线更换，无需拆卸阀体。
兼容性：法兰接口符合ISO-KF标准，适配DN16-DN50管道；支持4-20mA信号或Modbus协议接入自动化系统。
典型应用
真空镀膜设备的腔体隔离与气体切换
半导体晶圆制造过程中的工艺气体控制
实验室真空系统的远程操作与安全切断
（注：具体参数需以实际产品技术文档为准。）
